Edwards iXH 610 是一款新型干式真空泵，專為綠色制造和苛刻化學(xué)工藝而設(shè)計(jì)。其主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)包括：
適用于 HARSH 化學(xué)應(yīng)用
峰值抽速為 665 m3/h（391 CFM）
極限壓力為 3.7 x 10?3 Torr
無需預(yù)防性維護(hù)
3/8 英寸快速連接注水
水和電力連接配對(duì)半
SS水冷系統(tǒng)
多模式 44 slm 氣體模塊
iXH 610 系列泵具有緊湊的結(jié)構(gòu)、輕量化設(shè)計(jì)、極低的噪音和振動(dòng)，使其成為 Edwards 系列中應(yīng)用最廣泛的化學(xué)干泵。iXH 泵可為多層蝕刻工藝提供最大的可靠性，延長(zhǎng)泵的使用壽命，并降低 CVD 工藝的功耗，尤其是在使用 HARSH 化學(xué)品的情況下。iXH 泵適用于大多數(shù)半導(dǎo)體工藝，同時(shí)顯著降低輸入功率[3]。
在維修方面，Edwards iXH 系列干泵的維修服務(wù)包括專業(yè)銷售維修、拆解教程、圖解和說明文檔PDF下載等。維修服務(wù)涵蓋了多種品牌，如法國(guó)阿爾卡特（Alcatel Adixen）、英國(guó)愛德華（Edwards）、德國(guó)萊寶（Oerlikon Leybold）、普旭（BUSCH）、德國(guó)西赫（SIHIdry）、貝克（BECKER）、科威爾（KOWEL）和里其樂（RIETSCHLE）等[3]。
